Une plateforme MOEMS unique en Europe !

Depuis dix ans, la course mondiale aux MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems) est lancée. Ces composants micro-optiques sont appelés à révolutionner les domaines de l’astronomie, mais aussi des télécommunications, de l’automobile, de l’avionique et du génie biologique et médical. En 2000, le CNRS (INSU) attribuait au Laboratoire d’Astrophysique de Marseille (LAM) des moyens pour mettre en oeuvre un projet national de caractérisation des MOEMS.

L’année suivante, POPsud retenait le projet pour réaliser une de ses premières plates- formes technologiques. Le choix s’est orienté sur le développement de trois bancs spécifiques de caractérisation des MOEMS qui forment aujourd’hui une plate-forme de tests de composants quasiment unique en Europe. Le premier banc, opérationnel depuis 2002, a été développé pour mesurer les performances des fentes programmables comme le contraste, ou leur impact sur le design du spectrographe. Et plus récemment de mesurer les réseaux de diffraction programmables.

Le deuxième banc de caractérisation, opérationnel depuis 2004, est dédié aux mesures de surface de grande précision. Il a été développé dans le cadre d’une thèse soutenue avec succès. Ce banc est un interféromètre de Michelson permettant d’observer aussi bien un champ de 1mm (actuateur) qu’un champ de 40mm (micro-miroir déformable complet), avec une résolution exceptionnelle sub-nanométrique. Enfin, un troisième banc de caractérisation qui devrait entrer en fonction dans les mois qui viennent permettra de mettre les composants sous vide et dans des conditions cryogéniques. Des températures allant de l’ambiante à 30K pourront être obtenues. Un emploi CDD en conception mécanique (niveau IR) a été créé pour la définition et la modélisation des performances mécaniques du moyen. Ces moyens seront également utilisés pour le test de démonstrateurs d’instruments.

Cette plate-forme a déjà permis de mesurer des composants provenant d’horizons très divers comme les micromiroirs orientables de Texas Instruments, les prototypes de micro-obturateurs de la NASA, les micro-miroirs déformables électrostatiques du LAAS, de MEMSCAP, d’OKO, les mini-miroirs déformables piézoélectriques d’OKO... D’autres composants provenant d’instituts européens (CSEM) sont également attendus.

DESCRIPTION: Caractérisation des MOEMS

MARCHÉS OU SECTEURS VISÉS: Astronomie, avionique, télécommunications, automobile, génie biologique et médical

GAP TECHNOLOGIQUE: Association simultanée des fonctionsmécaniques, électriques et optiques

ORGANISME LEADER:Laboratoire d'Astrophysique de Marseille

MONTANT DE L’INVESTISSEMENT: 1,2 M€

FINANCEURS: INSU, CNRS, Ministère de la Recherche, CNES, ESA, UE, Région PACA, CG13

NOMBRE DE PUBLICATIONS: 20

BREVETS : 24

Contact: Frédéric Zamkotsian frederic.zamkotsian@oamp.fr