Le développement d’un moyen mutualisé de dépôt de couches par sputtering (procédé de traitements optiques réalisé par arrachement moléculaire sous vide) pour des pièces supérieures au mètre dont l’acronyme est « 2MDCS », permettra de conforter la région dans son leadership dans le domaine du traitement avec un équipement mutualisé n’ayant pas d’équivalent.
En travaillant la technique de dépôt de couches minces par technique de sputtering pour des optiques supérieures au mètre, la plate-forme, grâce à sa cinématique de déplacement à axe de révolution, répond aux applications nécessitant des performances optiques et de tenue en environnement et de durée de vie améliorées.
Trois domaines d’application ont été identifiés. Les miroirs de télescope de nouvelle génération qui utilisent des segments de 2 m de diamètre environ ; les miroirs utilisés sur les synchrotrons et les traitements pour le spatial. L’avancée permise par la plateforme est liée à la maîtrise de l'épaisseur des couches déposées. Le sputtering permet en effet de maîtriser des épaisseurs à quelques Angstrom prés au lieu de quelques nanomètres par évaporation d'où la possibilité de réaliser des traitements très sélectifs (filtres, dichroïques) qui aujourd'hui n'existent que sur le papier.
Les couches produites par sputtering présentent également une densité élevée (proche du massif) qui conduisent à un très bon comportement pour la tenue en environnement. Un des objectifs du programme de R&D proposé sera de valider ce dernier point. Ce moyen est maintenant installé à l’Observatoire de la Côte d’Azur (Nice), ce bâti devenant mutualisable après la phase de mise en route qui est en cours d’achèvement.

DESCRIPTION : Dépôt de couches par sputtering

MARCHÉS OU SECTEURS VISÉS : Astronomie. Spatial.

GAP TECHNOLOGIQUE : Maîtrise du procédé de sputtering

ORGANISMES PARTENAIRES : Leader : SESO, Thales Alenia Space, Adixen et le laboratoire de couches  minces de l’Observatoire de la Côte d’azur

MONTANT DE L’INVESTISSEMENT : 2 M€

FINANCEURS : FUI, Etat, Région PACA

CONTACT : P Robert p.robert@seso.fr